Функции:
• превосходная производительность
• широкий диапазон мощности и частот
• Быстрое управление дугами
• Усовершенствованная технология управления дугами, низкая остаточная энергия дуги
• Гибкая и модульная конструктивная структура
• Высокий выходной ток
• Ведущие энергетические технологии
Преимущество клиента:
• Регулируется на различные процессы и приложения
• Осаждение тонкого пленки и однородность пленки
• Высокая скорость осаждения в технологических условиях
• Удобная интеграция системы
• Широкий диапазон регулирования электроэнергии
• Высокая надежность