Каков принцип работы электродугового ионного покрытия?

Во-первых, игла зажигания дуги (анод) с положительным потенциалом близка к мишени (катоду) с отрицательным потенциалом. Когда расстояние между анодом и катодом достаточно мало, газ между двумя электродами будет разрушаться, образуя ток дуги, аналогичный зажиганию дуги при электросварке. В это время часть N2 ионизируется с образованием катионов азота и электронов.

Притягиваемый силой электрического поля катион азота полетит к катоду вблизи мишени, а электрон полетит к игле зажигания дуги. Однако масса иона намного больше массы электрона. Следовательно, при одинаковой силе электрического поля расстояние перемещения электрона будет больше, чем у катиона. Поэтому, когда электрон достигнет анода, ион не достигнет катодной мишени, а полетит к игле зажигания дуги. Вблизи поверхности мишени образуется слой накопления положительных ионов.

Расстояние между катионом и поверхностью катодной мишени очень мало, вплоть до микронного уровня. По e = u/D видно, что электрическое поле в пространстве в это время чрезвычайно велико, что будет «вытягивать» электроны из мишени. «Притянутые» электроны летят от катодной мишени к слою накопления положительных ионов, образуя ток. Слой укладки соединяется с целевой поверхностью, и вблизи целевой поверхности создается дуга.

В то же время положительные ионы будут притягиваться к поверхности катодной мишени, что заставляет положительные ионы бомбардировать поверхность мишени и производить распыление. Поскольку частицы пленки, испарившиеся или распыленные, должны пройти через слой накопления положительных ионов, и в процессе вылета из поверхности катодной мишени на частицы пленки будет воздействовать дуга на поверхности мишени, поэтому большинство частиц поступающие к заготовке находятся в ионном состоянии.

К заготовке обычно прикладывается отрицательное напряжение смещения, поэтому положительные ионы летят к заготовке под действием силы электрического поля и бомбардируют заготовку. Производители машин для нанесения покрытия DLC . Эта бомбардировка улучшит адгезию пленки и сделает трение более плотным, что очень полезно для улучшения качества пленки.

Если вы хотите узнать больше, вы также можете связаться с нами.

НИНБО ДАНКО ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ООО.

Сара

Телефон: 86-15867869979

Электронная почта: [email protected]

Вичат: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979