Каков принцип вакуумного покрытия？

1. Вакуумный основной корпус - размер вакуумной камеры варьируется в зависимости от требований обработанных продуктов. В настоящее время широко используемые диаметры составляют 1, 3M, 0, 9m, 1, 5m, 1, 8m и т. Д. Полевая полость состоит из «Target» из нержавеющей стали "= _blank> из нержавеющей стали, требования не являются ржавыми, и т. Д., Каждая часть вакуумной камеры имеет соединительный клапан для соединения каждого насоса.

2. Система извлечения вспомогательного воздуха: выхлопная система является важной частью вакуумной системы машины для покрытия, которая в основном состоит из механических насосов, бустерных насосов (в основном вводит корни) и диффузионные насосы масла. Эта выхлопная система состоит из «диффузионного насоса корни для насоса криогенного поликолода холодной ловушки». Процесс выхлопа: механический насос накачивает вакуумную камеру в низкое вакуумное состояние менее 2, 0*10-2PA, которое обеспечивает необходимое условие для последующего вакуума диффузионного насоса, а затем, когда диффузионный насос насосы насосы накачаруют вакуумную камеру, механический насос напокат. Диффузионные насосы масла соединяются в целом, чтобы завершить действие накачивания.
Механический насос: также называемый насос. Механический насос - это широко используемый низкий вакуумный насос. Он использует масло для поддержания эффекта герметизации и опирается на механические методы, чтобы непрерывно изменять объем всасывающей полости в насосе, чтобы контейнер накачался. Объем газа внутри постоянно расширяется для получения вакуума.

Классификация механических насосов: существует много типов механических насосов. Обычно используются тип раздвижного клапана (в основном используется в большом оборудовании), поршневый тип поршня, тип фиксированного лопата и тип роторного лопата (в настоящее время это широко используется, эта статья в основном представляет) четыре типа. Механический насос начинает работать из атмосферы. Его основными параметрами являются окончательный вакуум и скорость накачки. Это важная основа для проектирования и выбора механического насоса. Одностадийный насос может перекачивать контейнер из атмосферы до окончательного вакуума 1, 0*10-1PA, а двухэтапный механический насос может накачать контейнер из атмосферы до 6, 7*10-2PA или даже выше. Скорость накачки относится к объему газа, который может быть сброшен за единицу времени, когда насос роторного лопата работает на номинальной скорости. Это может быть рассчитано по следующей формуле: STH = 2NVS = 2NFSL FS представляет площадь поперечного сечения полости в конце всасывания, а L представляет длину пустоты, коэффициент указывает на то, что ротор имеет два процесса выхлопных газов на революцию, а VS указывает на то, что когда ротор находится в горизонтальном положении, но в целом-это время, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом, и в целом. Эффект выхлопного выхлопа механического насоса также связан со скоростью двигателя и стеснением ремня. Когда ремень двигателя является относительно свободным, а скорость двигателя очень медленная, выхлопной эффект механического насоса также станет хуже, поэтому требуется частое обслуживание. Эффект герметизации масла механического насоса также необходимо часто проверять. Если слишком мало масла, эффект герметизации не будет достигнут. Насос протекает воздух, слишком много масла заблокирует всасывающее отверстие, и невозможно вдыхать и выхлопнуть. Уровень масла на 0 или 5 см ниже линии. Механические насосы часто используются для выкачки сухого воздуха, но не могут выкачивать газы с высоким содержанием кислорода, взрывными и коррозионными газами. Механические насосы, как правило, используются для выкачивания постоянных газов, но они не подходят для влаги. Эффект, поэтому он не может удалить влагу. Основными частями насоса вращения вращения являются статор, ротор, шрапнель и т. Д. Ротор находится внутри статора, но имеет другую ось от статора, как два вписанных круга. В слоте ротора есть два шрапнеля, и между двумя шрапнелями установлена ​​пружина. Убедитесь, что шрапнель плотно прикреплена к внутренней стене статора.