Консультация по продукту
Ваш адрес электронной почты не будет опубликован. Требуемые поля отмечены *
Распыление - это общий метод для физического осаждения из паров (PVD) Китайский вакуумный вакуумный аппарат , один из методов производства тонких пленочных покрытий. Стандартное распыление использует цель того, что требуется желаемый чистый материал, и инертный газ, обычно аргона.
Если материал является единственным чистым химическим элементом, атомы просто отрываются от цели в этой форме и осаждают в этой форме.
Тем не менее, также можно использовать не инертный газ, такой как кислород или азот, либо вместо, либо (чаще) в дополнение к инертному газу (аргону). Когда это будет сделано, ионизированный не инертный газ может химически реагировать с целевым материалом паров и производить молекулярное соединение, которое затем становится осажденной пленкой. Например, кремниевая мишень, реактивно разбросанная с газом кислорода, может производить кремниевую пленку оксида, или с газом азота может производить кремниевую нитридную пленку.
Ваш адрес электронной почты не будет опубликован. Требуемые поля отмечены *