Каковы контрмеры для улучшения побочных реакций вакуумного покрытия?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Улучшить стратегию:

Укрепление обезжиренного лечения и дезактивации. Если это ультразвуковая очистка, на функции обезжиривания следует сосредоточиться, и должна быть обеспечена эффективность дегрементного раствора; Если он протирается вручную, рассмотрите возможность вытирать порошок карбоната кальция, а затем вытирать.

Укрепляйте выпечку перед покрытием. Если условия позволяют, лучше, чтобы температура подложки могла достигать 300 ℃ или более, а постоянная температура должна составлять более 20 минут, чтобы сделать водяной пара и масляный пара на поверхности подложки, насколько это возможно. *Примечание: чем выше температура, тем выше адсорбционная способность субстрата, также легко адсорбировать пыль. Следовательно, чистота вакуумной камеры должна быть улучшена. В противном случае пыль будет придерживаться подложки перед покрытием, что повлияет на силу пленки в дополнение к другим дефектам. (Температура химической десорбции водяного пара на субстрате в вакууме выше 260 ℃). Однако не все детали должны быть выпекаются при высокой температуре, а некоторые нитратные материалы имеют высокую температуру, но прочность пленки не высока, а пятна могут возникнуть. Это имеет большую связь со стрессом и тепловым сопоставлением материалов.

Когда позволяют условия, устройство оснащено конденсатором (Ploycold), что может не только увеличить скорость вакуумного насоса устройства, но и помочь удалить водяной пара и нефть и газ из подложки.

Увеличьте вакуумную степень испарения. Для машины для покрытия выше 1 метра начальный вакуум испарения должен быть выше 3*10-3PA. Чем больше машина для покрытия, тем выше начальный вакуум испарения.

Когда это возможно, устройство оснащено ионным источником, бомбардируется перед покрытием, очищает поверхность подложки и помогает процессу покрытия, который способствует компактности и твердости пленки.

Чтобы удалить влагу из мембранного материала, поместите мембранный материал, который будет использоваться в чашке Петри в вакуумной камере для сушки.

Держите рабочую среду сухой (включая протирку линз, зонтичную рабочую зону) и не приносите слишком много водяного пара при очистке рабочей среды.

Для многослойных пленок, при разработке пленочной системы, необходимо рассмотреть сопоставление пленки и подложки, а также рассмотреть вопрос о использовании фильма Al2O3 как можно большим количеством, который имеет хорошую адсорбционную силу для субстратов. Для металлических пленок можно также рассмотреть слой сплавания CR или CR. Сплавы CR или CR также имеют лучшую адсорбционную мощность для подложки.

Используйте полировую жидкость (полировую жидкость) для реабилитации и удаления корродированного слоя (гидролизованный слой) на поверхности линзы

Иногда правильное снижение скорости испарения полезно для увеличения силы пленки и имеет положительное значение в улучшении плавности поверхности пленки.

Стресс фильма:

Процесс формирования пленки тонкой пленки представляет собой процесс трансформации материала. Неизбежно, что в фильме будет стресс в слое фильма. Для многослойных пленок существуют комбинации различных материалов пленки, а напряжения, отражаемые каждым пленком, существуют различия, некоторые из них представляют собой растягивающее напряжение, некоторые из них являются сжимающими напряжением, а существуют тепловые напряжения пленки и подложки.

Существование стресса наносит ущерб силу пленки. Более легкая означает, что пленка не может противостоять трениям, а тяжелый вызывает трещины или тонкие сетки в фильме.

Для антирефлекционных пленок стресс, как правило, не очевиден из-за небольшого количества слоев. (Тем не менее, некоторые нитратные линзы имеют проблемы с стрессом, даже если они являются антирефлекционными пленками.) Для пленок с высоким содержанием рефлексии и фильтров с большим количеством слоев, стресс является общим нежелательным фактором, на что следует уделять особое внимание.

Улучшить стратегию:

Выпекать после покрытия. После того, как последний слой пленки выселен, не прекращайте выпекать немедленно и продолжайте «отпуск» в течение 10 минут. Сделайте структуру пленки более стабильной.

Время охлаждения соответствующим образом расширено, а отжиг стареет. Уменьшите тепловое напряжение, вызванное чрезмерной разницей температуры между внутренней и внешней стороной вакуумной камеры.

Для пленок с высокой отражением, фильтрационных пленок и т. Д. Во время процесса испарения температура субстрата не должна быть слишком высокой, поскольку высокие температуры, вероятно, вызывают тепловое напряжение. И это оказывает негативное влияние на оптическую стабильность пленковых материалов, таких как оксид титана и оксид тантала.

Ион помогает в процессе покрытия, чтобы уменьшить стресс.

Выберите подходящую пленку, чтобы соответствовать, слой пленкового материала и подложку. (Например, пятислойная антирефлекционная пленка использует AL2O3-Zro2-Al2O3-AL2O3-ZRO2-MGF2; ZRO2 также может использовать SV-5 (смешанный материал ZRO2 TIO2) или другие смешанные индексные материалы с высокой рефракционной пленкой.

Соответствующим образом снизить скорость испарения (Al2o3-2.5a/s; Zro2-3a/s; Mgf2-6a/s Скорочная скорость)

Заполнение кислорода выполняется на всех материалах оксидной пленки, а скорость потребления газа кислорода контролируется в соответствии с различными пленками.

Поверхностная твердость внешней пленки:

Анти-рефлекционная пленка обычно использует MGF2 в качестве внешнего слоя. Поперечное сечение пленки представляет собой относительно свободную столбчатую структуру, а поверхностная твердость не высока, поэтому легко вытереть дорогу.

Улучшить стратегию:

Когда позволяет дизайн пленочной системы, добавьте около 10 -нм слой SiO2 к внешнему слою, а поверхностная гладкость диоксида кремния лучше, чем у фторида магния (но износостойкость и твердость диоксида кремния не так хороши, как фторид магния). После нескольких минут ионной бомбардировки после покрытия эффект твердости будет лучше. (Но поверхность станет толще)

После того, как объектив покинет вакуумную камеру, поместите ее в сухое и чистое место, чтобы предотвратить быстрое поглощение влаги и уменьшить твердость поверхности.

Другой

Причины плохой прочности пленки включают низкую вакуум (склонные к ручным управляемым машинам), грязную вакуумную камеру и недостаточное нагрев подложки.

Когда вспомогательный газ заполняется, мембранный материал также выходит на отверстие, что уменьшает степень вакуума, уменьшает молекулярный свободный путь, а мембранный слой не является сильным. Следовательно, заполнение вспомогательного газа должно учитывать дегазацию пленкового материала, а на пленочный материал полностью предварительно смягчен и полностью дегрессируется перед покрытием, что также может избежать чрезмерного снижения степени вакуума из-за дегрессии пленки во время испарения, тем самым влияя на прочность пленки.

Снять фильм

Хотя релиз фильма здесь также является своего рода слабым фильмом, он имеет некоторые различия, чем предыдущий релиз фильма. Основными функциями являются: выпуск точек, релиза и частичный выпуск.

Основная причина в том, что в мембране есть грязь или загрязнители.

Метод улучшения: улучшить чистоту субстрата.

Основано в 2007 году как предыдущее имя вакуумной технологии Huahong, является профессиональной Поставщики машин с оптическим пленкой оптической пленки и Поставщики машин с оптическим пленкой , включая, но не ограничиваясь, системами распыления, единицами оптических покрытий, пакетными металлизаторами, физическим осаждением паров (PVD), жестким и износостойким оборудованием осаждения вакуумного покрытия, стеклом, PE, PC Substrate Coaters, Roll To-Roll Machines для покрытия гибких подложков. Машины используются для широкого спектра применений, описанных ниже (но не ограничивающимися ими) автомобильными, декоративными, твердыми покрытиями, инструментами для резания инструментов и металлов, а также приложения для тонких пленочных покрытий для промышленных и лабораторий, включая университеты. Компания по вакуумным технологиям. Наша компания очень сосредоточена на службе после продажи на внутренних и международных рынках, предоставляя точные планы обработки деталей и профессиональные решения для удовлетворения потребностей клиентов.

Делиться: