Как эксплуатационное давление внутри магнетронской машины для распыления покрытия влияет на качество и однородность покрытия, применяемого к субстратам?
Работое давление играет прямую роль в управлении скоростью осаждения разбрызгиваемого материала на подложку. При низких давлениях средний свободный путь - расстояние, которое просказывает атом, пер...