Каков принцип работы катодной дуги ионного покрытия?

Прежде всего, дуговая игла (анод) с положительным потенциалом близка к цели (катод) с отрицательным потенциалом. Когда расстояние между анодом и катодом достаточно мало, газ между двумя электродами будет сломаться, образуя дуговую ток, что аналогично дуговой ударной сварке. В настоящее время часть N2 ионизирована для образования азотных катионов и электронов.

Привлеченный силой электрического поля, азотный катион будет летать к катоду возле цели, а электрон будет летать к игл зажигания дуги. Однако масса иона намного больше, чем у электрона. Следовательно, под той же силой электрического поля расстояние перемещения электрона будет больше, чем у катиона. Следовательно, когда электрон достигает анода, ион не достигнет катодной цели, но будет летать к игл зажигания дуги, у слоя накопления положительного иона образуется вблизи поверхности цели.

Расстояние между катионом и катодной целевой поверхностью очень мало, до уровня микрона. Согласно E = U / D, видно, что в настоящее время электрическое поле в пространстве высокое, что будет «вытащить» электроны из цели. Электроны «вытянутые» летают из катодной цели до слоя накопления положительного ионов, образуя ток. Укладывающий слой соединен с целевой поверхностью, а дуга генерируется вблизи поверхности цели.

В то же время положительные ионы будут привлечены катодной целью, что заставляет положительные ионы бомбардировать поверхность цели и производить распыление. Поскольку частицы пленки либо испарились, либо разбрызгивали необходимость проходить через положительный слой накопления ионов, и в процессе вылета с поверхности катодной цели на частицы пленки будут затронуты дугой на поверхности цели, так что частицы, поступающие на заготовку, являются ионным состоянием.

Отрицательное напряжение смещения обычно применяется к заготовке, поэтому положительные ионы летят на заготовку под действием силы электрического поля и бомбардируют заготовку Производители DLC Machine Machine Полем Эта бомбардировка улучшит адгезию фильма и сделает трение плотным, что очень полезно для улучшения качества фильма.

Если вы хотите узнать больше, вы также можете связаться с нами.

Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Сара

Телефон: 86-15867869979

Электронная почта: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979