Что такое реактивное распыление?

Распыление является распространенным методом физического осаждения из паровой фазы (PVD). Китай Вакуумная машина для нанесения твердой пленки , один из способов получения тонкопленочных покрытий. Стандартное распыление использует мишень из любого желаемого чистого материала и инертный газ, обычно аргон.

Если материал представляет собой один чистый химический элемент, атомы просто отрываются от мишени в этой форме и осаждаются в этой форме.

Однако также возможно использовать неинертный газ, такой как кислород или азот, либо вместо, либо (чаще) в дополнение к инертному газу (аргону). Когда это сделано, ионизированный неинертный газ может химически реагировать с паровым облаком целевого материала и производить молекулярное соединение, которое затем становится осаждаемой пленкой. Например, кремниевая мишень, реактивно напыленная газообразным кислородом, может образовывать пленку оксида кремния, а газообразный азот может образовывать пленку нитрида кремния.