Какие факторы будут влиять на характеристики покрытия вакуумной лакировальной машины?

Какие факторы влияют на характеристики покрытия вакуумная лакировальная машина ?

Если машина для вакуумного нанесения покрытия хочет покрыть хорошую пленку, она должна гарантировать, что многие факторы находятся в нормальном состоянии, такие как вакуумное покрытие, целевое расстояние до основания, температура испарения, температура подложки, давление остаточного газа и другие факторы. Есть отклонение в каком-то факторе. Это повлияет на производительность слоя покрытия вакуумной машины для нанесения покрытий. Ниже приведен вакуумный редактор, в котором подробно объясняется, какие факторы будут влиять на характеристики покрытия вакуумной лакировальной машины. Я надеюсь, что это может помочь вам:

1. Скорость испарения

Величина скорости испарения оказывает большое влияние на осаждаемую пленку. Поскольку структура покрытия, образованная низкой скоростью осаждения, является рыхлой и легко осаждается крупными частицами, чтобы обеспечить компактность структуры покрытия, очень безопасно выбирать более высокую скорость испарения. При постоянном давлении остаточного газа в вакуумной камере скорость бомбардировки подложки является постоянной величиной. Следовательно, после выбора более высокой скорости осаждения остаточный газ, содержащийся в осаждаемой пленке, будет уменьшен, тем самым уменьшая химическую реакцию между молекулами остаточного газа и частицами испаряемого материала пленки. Следовательно, чистота осажденной пленки может быть улучшена. Следует отметить, что если скорость осаждения слишком высока, это может увеличить внутреннее напряжение пленки, что приведет к увеличению количества дефектов в слое пленки и даже к растрескиванию слоя пленки в тяжелых случаях. В частности, в процессе реактивного испарения может быть выбрана более низкая скорость осаждения, чтобы обеспечить достаточную реакцию реакционного газа и частиц испаряемого пленочного материала. Конечно, для разных испарений материалов следует использовать разные скорости испарения. В качестве практического примера того, как низкая скорость осаждения может повлиять на характеристики пленки, можно привести осаждение отражающей пленки. Например, при толщине пленки 600x10-8 см и времени испарения 3 с коэффициент отражения составляет 93%. Однако, если скорость испарения замедлена при той же толщине пленки, для полного осаждения пленки требуется 10 мин. В это время толщина пленки одинакова. Однако отражательная способность упала до 68%.

2. Температура основания

Температура подложки также оказывает большое влияние на испарительное покрытие. Остаточные молекулы газа, адсорбированные на поверхности подложки при высоких температурах подложки, легко удаляются. В частности, более важным является исключение молекул водяного пара. Более того, не только легко способствовать переходу от физической адсорбции к химической при более высокой температуре, увеличивая тем самым силу связи между частицами. Кроме того, можно уменьшить разницу между температурой рекристаллизации молекул пара и температурой подложки, тем самым уменьшая или устраняя внутренние напряжения на границе пленка-подложка. Кроме того, поскольку температура подложки связана с кристаллическим состоянием пленки, аморфные или микрокристаллические покрытия имеют тенденцию легко образовываться в условиях слабого нагрева подложки или при отсутствии нагрева. И наоборот, при более высокой температуре легко образовать кристаллическое покрытие. Повышение температуры подложки также способствует улучшению механических свойств покрытия. Разумеется, температура подложки не должна быть слишком высокой, чтобы предотвратить повторное испарение напыленного покрытия.

3. Влияние давления остаточных газов в вакуумной камере на характеристики пленки.

Давление остаточного газа в вакуумной камере оказывает большое влияние на работу мембраны. Если давление слишком велико, молекулы остаточного газа не только легко сталкиваются с испаряющимися частицами, так что кинетическая энергия людей, снимающих на подложке, снижается, что влияет на адгезию пленки. Более того, избыточное давление остаточного газа серьезно повлияет на чистоту мембраны и ухудшит характеристики покрытия.

4. Влияние температуры испарения на напыление покрытия

Влияние температуры испарения на характеристики пленки показано скоростью испарения в зависимости от температуры. Когда температура испарения высока, теплота испарения уменьшается. Если материал пленки испаряется выше температуры испарения, даже незначительное изменение температуры может вызвать быстрое изменение скорости испарения материала пленки. Поэтому очень важно точно контролировать температуру испарения во время нанесения пленки, чтобы избежать большого температурного градиента при нагреве источника испарения. Для пленочного материала, который легко сублимировать, в качестве нагревателя выбирается сам пленочный материал, и такие меры, как испарение, также очень важны. .

Вышеуказанные четыре аспекта являются наиболее распространенными факторами, влияющими на характеристики слоя покрытия вакуумной машины для нанесения покрытий, а также наиболее распространенными влияющими факторами. В процессе нанесения покрытия на вакуумной машине необходимо следить за тем, чтобы эти факторы находились в нормальном состоянии.