Каковы шаги по использованию машины для вакуумного нанесения покрытий?

Вакуумная лакировальная машина в основном относится к типу покрытия, которое необходимо наносить в более высоком вакууме, включая многие типы, включая испарение с нагреванием в вакууме, испарение с нагревом электронной пушкой, магнетронное напыление, молекулярно-лучевую эпитаксию МЛЭ, лазерное напыление PLD, ионное напыление. виды лучевого напыления. Основная идея делится на два вида испарения и распыления.

Работа электрического шкафа управления
1. Включите водяной насос и источник воздуха.
2. Включите основной источник питания.
3. Включите питание ремонтного насоса и вакуумметра, положение вакуумметра V1, подождите, пока значение не станет меньше 10, а затем перейдите к следующему шагу. Это занимает около 5 минут.
4. Включите механический насос, предварительный насос, включите питание турбомолекулярного насоса и запустите его. Переключатель вакуумметра переведен в положение V2. Для откачки менее 2 требуется около 20 минут.
5. Увидев, что показания турбомолекулярного насоса достигают 250, выключите предварительный насос, включите форвакуумный насос и клапан высокого вакуума, чтобы продолжить вакуумирование. После того, как вакуум достигнет определенного уровня, включите манометр высокого вакуума справа, чтобы наблюдать за вакуумом. Только после того, как вакуум достигнет 2×10-3, можно включить питание электронной пушки.

Операция DEF-6B
1. Полная мощность.
2. Включите управление электронной пушкой Ⅰ и питание управления электронной пушкой Ⅱ одновременно: нажмите кнопку управления электронной пушкой Ⅰ питания, переключатель задержки, индикаторы задержки, питания и защиты включены. Через три минуты индикаторы задержки и защиты гаснут. Если задняя дверь не закрыта или реле протока воды неисправно, защитная лампочка всегда будет гореть.
3. Когда высокое напряжение включено, высокое напряжение достигает более 10 кВ, ток луча можно отрегулировать примерно до 200 мА, сетка занавеса составляет 20 В/100 мА, ток накала составляет 1,2 А, а ток отклонения колеблется между 1 и 1.7.

Последовательность отключения
1. Выключите высоковакуумный измеритель и молекулярный насос.
2. Когда дисплей молекулярного насоса достигнет 50, выключите по очереди клапан высокого давления, переднюю ступень и механический насос. Этот период занимает около 40 минут.
3. Когда оно ниже 50, снова выключите насос обслуживания.