1. Вакуумная камера
оборудование для нанесения покрытий в основном имеет две формы: непрерывная производственная линия для нанесения покрытий и однокамерная машина для нанесения покрытий, производство материалов из нержавеющей стали, аргонно-дуговая сварка, химическая полировка поверхности и различные спецификации интерфейсов фланцев привариваются к компонентам вакуумной камеры.
2, часть сбора вакуума
В вакуумной технологии важной частью является сбор вакуума. Получение вакуума не может быть достигнуто одним вакуумным оборудованием и методом. Несколько насосов должны использоваться в комбинации, например, механические насосы, насосы Рутса, системы молекулярных насосов и т. д.
3, часть измерения вакуума
Вакуумметрическая часть вакуумной системы предназначена для измерения давления в вакуумной камере. Как и вакуумный насос, ни один вакуумметр не может измерить весь диапазон вакуума, поэтому люди изготовили множество типов вакуумметров в соответствии с разными принципами и требованиями. Такие как измеритель термопары, измеритель ионизации, измеритель Пирани и т. Д.
4. Блок питания
Целевой источник питания в основном включает источник питания постоянного тока, источник питания промежуточной частоты, импульсный источник питания и источник питания радиочастоты (RF). Обычными производителями блоков питания являются AE, ADL, Hottinger и т. д.
5. Система подачи технологического газа
Технологические газы, такие как аргон (Ar), криптон (Kr), азот (N2), ацетилен (C2H2), метан (CH4), водород (H2), кислород (O2) и т. д. обычно подаются с помощью газовых баллонов. Редукционный клапан давления газа, газовый запорный клапан, трубопровод, расходомер газа, электромагнитный клапан, пьезоэлектрический клапан, а затем в вакуумную камеру. Преимущество этой системы ввода газа в том, что трубопровод прост и понятен, а газовый баллон легко отремонтировать или заменить. Машины для нанесения покрытия не влияют друг на друга. Бывают также случаи, когда несколько машин для нанесения покрытия используют один набор газовых баллонов. Такая ситуация может наблюдаться в некоторых крупных цехах по нанесению покрытий. Его преимущество в том, что он уменьшает заполняемость газовых баллонов, единую планировку и унифицированную компоновку. Недостаток в том, что из-за увеличения количества стыков возрастает вероятность подсоса воздуха. Более того, машины для нанесения покрытий будут мешать друг другу, и из трубопровода одной машины для нанесения покрытий может происходить утечка воздуха, что может повлиять на качество продукции других машин для нанесения покрытий. Кроме того, при замене газовых баллонов необходимо следить за тем, чтобы все автоматы находились в негазовом состоянии.
6. Механическая трансмиссионная часть
Покрытие требует, чтобы толщина периферии была одинаковой. Следовательно, в процессе нанесения покрытия должно быть три оборота, чтобы соответствовать требованиям. То есть, в то время как большой стол заготовки должен вращаться (I), малый держатель заготовки также вращается (II), и в то же время может вращаться сама заготовка (III). В механической конструкции обычно имеется большая ведущая шестерня в центре нижней части поворотного стола большой заготовки, и с ней зацепляются несколько небольших звездообразных колес. Если продукт должен вращаться, заготовка обычно вращается с помощью вилки переключения.
7, часть нагрева и измерения температуры
Оборудование для нанесения покрытий обычно имеет нагреватели в разных положениях, а термопары используются для измерения и контроля температуры. Однако, поскольку положение зажима термопары отличается от положения заготовки, показание температуры не может быть истинной температурой заготовки. Для измерения истинной температуры заготовки существует множество методов, вы можете установить на заготовку высокотемпературную тестовую бумагу или измеритель термопары.
8. Источник ионного испарения и распыления
Источник испарения многодугового покрытия обычно имеет форму круглой лепешки, широко известной как мишень круглой лепешки, а также существуют прямоугольные многодуговые мишени. В основание мишени устанавливается магнит. Перемещая магнит вперед и назад, можно изменять интенсивность магнитного поля, а также регулировать скорость движения и траекторию пятна дуги. Чтобы снизить температуру мишени и основания мишени, основание мишени должно непрерывно снабжаться охлаждающей водой. Чтобы обеспечить высокую электрическую и теплопроводность между мишенью и основанием мишени, между мишенью и основанием мишени также можно добавить оловянную прокладку. Магнетронное напыление покрытия обычно использует прямоугольные или цилиндрические распыляющие катоды.
9, система водяного охлаждения
обычно состоит из башни холодной воды, машины для подачи ледяной воды, водяного насоса и т. д.
10, промышленная система управления
испанский
португальский