Как устранить неоднородность магнетронно-распыленных пленок?

Во-первых, необходимо обеспечить однородность и направление магнитного поля для формирования относительно однородного пространственного магнитного поля.

Во-вторых, должна быть обеспечена по возможности равномерность давления воздуха. При проектировании вакуумной камеры положение установки вакуумного насоса, способ Завод вакуумных лакировочных машин испарения необходимо учитывать вход технологического газа и расположение технологической трубы в камере.

В-третьих, поскольку магнитное поле и давление воздуха не могут быть абсолютно идеальными, магнитное поле можно компенсировать неравномерностью давления воздуха, чтобы сделать окончательную пленку однородной.

В-четвертых, целевое базовое расстояние также является важным фактором, влияющим на однородность.