АЛМАЗОПОДОБНЫЙ УГЛЕРОД (DLC) PVD ПОКРЫТИЯ

Покрытия из алмазоподобного углерода (DLC) являются особой областью знаний Richter Precision Inc. Среди композиций и технологий покрытий PVD и PaCVD покрытия DLC выделяются как особая категория. Эти покрытия обладают желаемым сочетанием низкого коэффициента трения и высокой микротвердости, что делает их чрезвычайно эффективными во многих трибологических и износостойких применениях.

Покрытия DLC образуются, когда ионизированные и разложившиеся частицы углерода или углеводорода попадают на поверхность подложки с энергией обычно 10-300 эВ. Пленки DLC могут обладать исключительными механическими (высокая твердость), оптическими (большая ширина запрещенной зоны), электрическими (высокое удельное электрическое сопротивление), химическими (инертность) и трибологическими (низкий коэффициент трения и износа) свойствами и могут наноситься при низких температурах подложки (~ 200°С).

Пленки DLC обычно аморфны (т.е. не имеют доминирующей структуры кристаллической решетки) и состоят из смеси фаз sp2 (графит) и sp3 (алмаз). Контроль пленки Машина для нанесения покрытия DLC свойства сильно зависят от характеристик потока выбранного метода осаждения (распыление PVD или испарение и Pa-CVD), содержания металла и водорода в пленке, отношения sp2:sp3, напряжения смещения подложки, энергии ионов и плотности ионов, а также подложки. температура. Коэффициент трения пленки DLC по стали обычно находится в диапазоне 0,05-0,20, а твердость пленки и содержание sp3 могут быть адаптированы для конкретных применений. DLC, содержащие металлы и водород (Me-DLC или a-C:H:Me), имеют твердость в диапазоне 500-2000 HV с 35% sp3, DLC, не содержащие металлов (C-DLC или a-C:H), обычно 1500-4000 HV и до 75% sp3, тогда как тетраэдрический аморфный углерод (ta-C) может иметь 4000-9000HV с 80-85% sp3.

Richter Precision Inc. предлагает полный спектр составов фаз DLC и, следовательно, самый широкий диапазон механических и физических свойств, которые можно выбрать. Характеристики инструментов и/или области применения определяют, какая структура покрытия DLC лучше всего подходит. Пожалуйста, смотрите таблицу ниже для полного списка наших доступных композиций покрытия DLC.