Общая вакуумная терминология 3

1. Диапазоны вакуума：Вакуумная область примерно разделена следующим образом:

Па        Торр

Низкий вакуум:            10 ⁵ ～10 ² 760～1
Средний вакуум:          10 ² ～10 ^-1 1～10 ^-3

Высокий вакуум:            10 ^-1 ～10 ^-5 10 ^-3 ～10 ^-7

Сверхвысокий вакуум:       <10 ^-5 <10 ^-7

2. газ：Вещества, свободно занимающие любое пространство и не подверженные межмолекулярным взаимодействиям. Примечание. В вакуумной технике термин «газ» не применяется строго к неконденсируемым газам и пару.
3. n，m-3 числовая плотность молекул：В данный момент Китай Машина для нанесения покрытия PVD Поставщики число молекул в объеме вокруг точки газа делится на этот объем.
4. ι、λ，m средний свободный пробег: расстояние, которое молекула проходит с другими молекулами газа за каждые два последовательных столкновения, называется свободным пробегом. Среднее значение большого количества различных свободных пробегов называется средним свободным пробегом.