Общие методы технологии PVD

Напыление

Напыление - это метод осаждения тонких пленок, связанный с газовым тлеющим разрядом. Существует множество методов распыления, таких как распыление постоянным током, ВЧ-распыление и реактивное распыление. Магнетронное распыление, промежуточная частота Поставщики систем покрытия PVD в Китае широко используются распыление, распыление постоянным током, ВЧ-распыление и ионно-лучевое распыление.

Характеристика: Необходимый для разряда инертный газ (например, аргон) заполняется вакуумной камерой. Под действием электрического поля высокого напряжения в результате ионизации молекул газа образуется большое количество положительных ионов. Когда заряженные ионы ускоряются сильным электрическим полем, формируется ионный поток высокой энергии, который бомбардирует материал источника испарения (называемый мишенью). При ионной бомбардировке атомы материала источника испарения покидают твердую поверхность и распыляются на подложку с высокой скоростью для осаждения тонких пленок.