Применение магнетронного напыления

Применение магнетронное напыление

Магнетронное напыление является наиболее эффективным методом низкотемпературного осаждения в технологии PVD. При магнетронном напылении электроны поглощаются темнопольной крышкой или специально закрепленным анодом, а температура полученной подложки ниже, чем при традиционном напылении. Другие чувствительные к температуре материалы наносятся в качестве подложек. В 1998 г. компания Teel Coating Ltd. предложила технологию нанесения высококачественных покрытий TiN и TiCN методом магнетронного напыления при низкой температуре, при этом температура подложки могла быть снижена до менее 70 °C, что расширило возможный диапазон применения подобных покрытий. В последние годы Университет Лафборо в Соединенном Королевстве успешно снизил температуру подложки во время магнетронного напыления с 350–500 °C до примерно 150 °C при комнатной температуре и успешно нанес покрытия TiN и CrN на поверхности форм искусственных зубов и меди. сварочной контактной головки увеличивает срок ее службы в 5-10 раз. Можно видеть, что исследования методов и процессов низкотемпературного осаждения очень содержательны и многообещающи.