Общие методы обнаружения утечки в вакууме

Обнаружение утечки с помощью масс -спектрометрии гелия

Эта технология является незаменимой технологией в области обнаружения утечки в вакууме. Он широко используется в обнаружении утечки из -за высокой эффективности обнаружения утечки, легкой работы, чувствительной реакции прибора, высокой точности, а не Китайские поставщики систем покрытия PVD легко мешает другим газам. Детектор утечки масс -спектрометра гелия является своего рода прибор для обнаружения газа на основе принципа масс -спектрометрии, который использует гелий в качестве газа индикатора утечки. Он состоит из ионного источника, анализатора, коллектора, камеры холодной катодной ионизации, камеры масс -спектрометрии, выхлопной системы и электрической части. Электроны, излучаемые из нити в камере масс -спектрометрии, колеблются взад -вперед в комнате и сталкиваются с внутренним газом и гелием, входящими в комнату через протекающую отверстие, чтобы ионизировать в положительные ионы. Эти ионы гелия попадают в магнитное поле под левым и правым мозгом ускоренного электрического поля и отклоняются из -за действия силы Лоренца, образуя круглую дуговую орбиту и изменяя ускоренное электрическое поле. Давление позволяет обнаружить ионы различной массы, достигая приемного полюса через магнитные поля и приемные слоты. Метод инъекции гелия и метод поглощения гелия являются двумя часто используемыми методами обнаружения утечки масс -спектрометра гелия.