Общие методы обнаружения утечек вакуума

Обнаружение утечек с помощью гелиевой масс-спектрометрии

Эта технология незаменима в области обнаружения утечек вакуума. Он широко используется для обнаружения утечек из-за его высокой эффективности обнаружения утечек, простоты в эксплуатации, чувствительного отклика прибора, высокой точности и надежности. Поставщики систем покрытия PVD в Китае легко взаимодействует с другими газами. Течеискатель с гелиевым масс-спектрометром представляет собой своего рода прибор для обнаружения герметичности, основанный на принципе масс-спектрометрии, в котором в качестве газа-индикатора утечки используется гелий. Он состоит из источника ионов, анализатора, коллектора, датчика ионизации с холодным катодом, камеры масс-спектрометрии, выхлопной системы и электрической части. Электроны, испускаемые нитью накала в камере для масс-спектрометрии, колеблются взад и вперед в комнате и сталкиваются с внутренним газом и гелием, поступающим в комнату через негерметичное отверстие, чтобы ионизироваться в положительные ионы. Эти ионы гелия входят в магнитное поле под левым и правым полушариями ускоренного электрического поля и отклоняются за счет действия силы Лоренца, образуя дугу окружности орбиты и изменяя ускоренное электрическое поле. Давление позволяет обнаруживать ионы различной массы, достигая приемного полюса через магнитные поля и приемные щели. Метод инжекции гелия и метод абсорбции гелия являются двумя наиболее часто используемыми методами обнаружения утечек гелиевого масс-спектрометра.