Общие методы технологии PVD
ВЧ (радиочастотное) напыление
Частота ВЧ-распыления составляет около 13,56 МГц. Ему не нужен горячий катод, и он может распыляться при более низком давлении и напряжении. ВЧ-распыление может осаждать Поставщики систем покрытия PVD в Китае не только металлические пленки, но и изолирующие диэлектрические пленки из различных материалов, поэтому он имеет широкий спектр применения.