Общее знание вакуумного покрытия магнетрон- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Общее знание вакуумного покрытия магнетрон

Ток Магнетрон распыляется РЧ -магнетроновая распыление, пульсированное магнетроновое распыление и средний фри2

Реактивное распыление состоит в том, чтобы ввести определенную долю реактивного газа в атмосферу инертного газа в системе распыления. Обычно основными реактивными газами являются кислород и азот.

Метод распыления постоянного тока используется в распылении и реактивном распылительном покрытии, где пропагандированный материал является проводящим материалом, а обработчивое оборудование проще и имеет высокую скорость распыления.

В одной катодной целевой системе среднечастотная частота магнетрона переменного тока обладает тем же эффектом выброса заряда и профилактики дуги, что и распыление пульс магнетрона. Технология распыления средней частоты переменного тока также применяется к системе расщепления Twin (TWIN2MAG). Средняя частота AC -двойная целевая распыление предназначено для подключения двух выходных концов среднего частоты источника питания переменного тока к соответствующим катодам закрытого магнитного поля несбалансированной двойной цели. Следовательно, чередующиеся напряжения с противоположными фазами соответственно получаются на двойных целях, а пара магнитронских целей по альтернативам становятся катодами и анодами.

Технология расщепления мишени для двойного целей значительно улучшает стабильность операции распыления магнетрона, которая может избежать накопления зарядов на отравленной целевой поверхности, вызывая проблему воспламенения дуговой поверхности и исчезновение анода. Заложить основу для массового производства.

Магнетроновая машина для покрытия

Многоакторные ионные и распылительные покрытия могут быть отложены в широком спектре цветов. Ранг цветов может быть дополнительно улучшен, введя реактивные газы в камеру во время процесса осаждения. Широко используемые реактивные газы для декоративных покрытий - это азот, кислород, аргон или ацетилен. Декоративные покрытия производятся в определенном цветовом диапазоне, в зависимости от соотношения металла и газа в покрытии и структуры покрытия. Оба этих фактора могут быть изменены путем изменения параметров осаждения.

Перед осаждением детали очищаются, поэтому поверхность свободна от пыли или химических примесей. После начала процесса покрытия все соответствующие параметры процесса непрерывно контролируются и управляются автоматической системой управления компьютером.

Делиться: